高精度光纤定位:在整片晶圆上对所有V型槽进行同步加工,实现48、96及更多通道数下,从首根到末根光纤的累积间距误差小于 500 nm。
更高的设计灵活度:先进的V型槽工艺可在同一阵列中同时加工不同的光纤间距与表面结构(V/U 型、凸面、凹面、自由曲面等)。
可集成机械定位结构:支持被动对准和高精度装配,实现结构与功能一体化。
技术指标
应用领域
光通信模块
光子集成电路PIC
光纤阵列单元FAU
光纤连接器
共封装光学CPO
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