首页 产品中心 泛半导体制程应用解决方案 DLight S

DLight S

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半导体集成电路晶圆退火系统

极细线光斑、超高能量密度

模块化设计、易于维护

完善的安全监控保护系统

适配多种外置传感器

适用于多种半导体晶圆退火工艺需求

 DLight S

技术指标

产品型号 产品代码 输出功率 光斑尺寸 功率稳定性 光斑长度均匀性 光斑宽度稳定性 下载
FL-DLight-S1500A (Typical Customization) 1500 W 12 mm (top-hat) x 70 µm (gaussian) > 98 % ≥ 95 % ± 1 µm
* 典型定制方案。定制产品可能交期较长。
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